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      1. CIF實驗室型等離子清洗機CPC-G系列

          CIF推出全新一代CPC-G系列小型等離子體清洗設備,顛覆傳統等離子體清洗設備設計理念,采用頂置真空倉,上開蓋下壓式鉸鏈開關方式,上置式360度自由取放樣品托盤設計,具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室使用。

          更新時間:2022-04-02 15:18:31
        1. 詳細信息

          

        產品特點

        PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

        7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

        手動、自動兩種工作模式。

        數字流量計控制,控制更準確。

        符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

        頂置真空倉,上開蓋設計,下壓式鉸鏈開關方式。

        上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

        安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

        技術參數

        型號

        CPC-G

        CPC- G plus

        艙體尺寸

        H120xΦ270mm  

        H120xΦ270mm

        艙體容積

        6.8L

        6.8L

        射頻電源

        40KHz

        13.56MHz

        匹配器

        自動匹配

        自動匹配

        射頻功率

        10-300W可調

        10-150W可調

        氣體控制

        質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

        有效處理尺寸

        Φ270mm 圓盤

        產品尺寸

        L525xW425xH345mm

        包裝尺寸

        L645xW540xH560mm  

        時間設定

        1-99分59秒

        真空泵

        抽速4-8m3/h

        氣體穩定時間

        1分鐘

        真空度

        100pa以內

        AC220V 50-60Hz 

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